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序號 特征 參數 測試方法
1 外延層摻雜劑 P,P+:Boron N,N+:Phosphorus, Arsine
2 外延層晶向 <100>,<111>
3 外延層電阻率 P,N:10-1 ∽ 102Ω·cm ASTM F723
4 外延層電阻率中心值偏差 ≤±5% For 6'
5 外延層電阻率均勻性 ≤±3% For 6'
6 外延層厚度 1 to 100 Micrometer ASTM F95、F110
7 外延層厚度中心值偏差 ≤±5% For 6'
8 外延層厚度均勻性 ≤±3% For 6'
9 堆垛層錯密度性 10/cm2 ASTM F1810
10 滑移線 5條,總長度不超過圓片半徑 ASTM F1725 F1726
11 NONE ASTM F523
12 劃傷 NONE ASTM F523
13 凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪 NONE ASTM F523
14 崩邊 NONE ASTM F523
15 冠狀邊緣 表面上凸起物高度不超過1/3延層厚度 To be defined
16 異物 NONE ASTM F523
17 背面沾污 NONE ASTM F523
18 點缺陷 SEMI標準 ASTM F523

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